藍茵高精度晶圓噴墨打標打點系統(tǒng)集成機器視覺與壓電噴墨技術(shù)，實現(xiàn)晶圓缺陷亞微米級自動涂黑標記。突破傳統(tǒng)手動效率瓶頸，滿足ToF模組、Metalens等光學元件量產(chǎn)需求，為3D傳感、生物識別領(lǐng)域提供高可靠性標識方案。

A[機器視覺定位]|亞微米識別精度| -->B (缺陷坐標提取)--> C[壓電噴墨系統(tǒng)] |3pl級墨滴控制|--> D(微米級精準打點) --> E[SECS/GEM協(xié)議集成] --> F(智能制造系統(tǒng)無縫對接)

超高精密打點系統(tǒng)三大技術(shù)模塊

一、工業(yè)視覺識別系統(tǒng)

毫秒級不良品定位（＞500fps幀率） 亞微米級坐標定位誤差（±2μm）

三、智能控制平臺

支持SMEMA/E84通信協(xié)議 可定制配方管理（＞200組工藝參數(shù)）

此方案已應用于12英寸晶圓量產(chǎn)線，為3D成像、生物識別等前沿領(lǐng)域提供標識技術(shù)底座，加速半導體噴墨設(shè)備國產(chǎn)化進程。